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Lorem

Inno-Arv®

Pumpen­schutz­ventile

Das INNO-ARV® ist die perfekte Lösung zum Schutz von Pumpen, da es in einer Armatur die Aufgaben der Steuergrößenermittlung (Durchflussmenge), des eigentlichen Stellgliedes im Bypass und des Rückschlagventils im Hauptstrom in sich und ohne zusätzliche Hilfsenergie vereint. Es regelt selbsttätig in Abhängigkeit vom Durchfluss die Mengen im Haupt- und im Bypass-Strom. Möglicher Rückfluss wird durch einen internen strömungsoptimierten Rückschlagkegel verhindert.

Typische Anwendungen
Typische Anwendungen
Pump recirculation valve
Pump recirculation valves
Pump recirculation valves

MakroPor

Die MakroPor Membranen besitzen Poren mit einem einheitlichen Porendurchmesser (Abweichung unter 5%), der über die gesamte Porenlänge hindurch konstant bleibt. Die Poren sind aufgrund der Vorstrukturierung über die gesamte Fläche des Wafers gleichmäßig exakt hexagonal oder quadratisch angeordnet. Durch eine zusätzliche anisotrope Ätzung können die runden Poren auch zu viereckigen aufgeweitet werden.

Standard­produkte

Poren­abstandPoren­durch­messerPoren­längeAnordnung der Poren
1,5 µm1 µm50, 200 µmTrigonal
4,2 µm2,5 µm50, 200 µmTrigonal
12 µm5 µm350, 500 µmQuadra­tisch
20 µm8 µm500 µmQuadra­tisch
Material&shyeigenschaften

Porendurchmesser anpassbar ab 1 µm bis 17 µm(größer möglich)

Porenabstand und Anordnung der Poren anpassbar durch Anfertigung einer Photomaske zur Vorstrukturierung 

Standardabweichung < 5%

Durchflussmembranen mit symmetrischen Poren

Poröses Silizium mit einseitig geschlossenen Poren

Porentiefen von wenigen µm bis 500 µm

Porosität einstellbar ab 20%

thermisch stabil bis 1200ºC
(abhängig von der Umgebung)

funktionalisierbare Oberfläche

Porendurchmesser

anpassbar ab 1 µm bis 17 µm (größer möglich)

Porenabstand und Anordnung der Poren

anpassbar durch Anfertigung einer Photomaske zur Vorstrukturierung 

Standardabweichung

< 5%

Durchflussmembranen

mit symmetrischen Poren

Poröses Silizium

mit einseitig geschlossenen Poren

Porentiefen

wenige µm bis 500 µm

Porosität

einstellbar ab 20%

thermisch stabil

bis 1200ºC (abhängig von der Umgebung)

funktionalisierbare Oberfläche
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Factsheet
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