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INNO-EXFL®

Excess Flow Valves

MIAM INNO-EXFL excess flow valves are essential safety components for reliable pipeline protection. During normal operation, they permit unrestricted bidirectional flow. However, if a sudden surge in flow occurs — for example caused by a line break — the valve responds instantly: it closes automatically and securely, preventing any further medium from escaping through the pipeline.

Once activated, the valve requires inlet and outlet pressures to be equalized before it can be reset. Depending on the valve design, this pressure equalization can be achieved via an integrated seat bypass hole or through an external bypass system.

The result: maximum safety, automatic protection, and dependable performance for critical pipeline operations.

Typical Applications
Typical Applications
trim parts
Packing
Assembly
Testing

MakroPor

Die MakroPor Membranen besitzen Poren mit einem einheitlichen Porendurchmesser (Abweichung unter 5%), der über die gesamte Porenlänge hindurch konstant bleibt. Die Poren sind aufgrund der Vorstrukturierung über die gesamte Fläche des Wafers gleichmäßig exakt hexagonal oder quadratisch angeordnet. Durch eine zusätzliche anisotrope Ätzung können die runden Poren auch zu viereckigen aufgeweitet werden.

Standard­produkte

Poren­abstandPoren­durch­messerPoren­längeAnordnung der Poren
1,5 µm1 µm50, 200 µmTrigonal
4,2 µm2,5 µm50, 200 µmTrigonal
12 µm5 µm350, 500 µmQuadra­tisch
20 µm8 µm500 µmQuadra­tisch
Material&shyeigenschaften

Porendurchmesser anpassbar ab 1 µm bis 17 µm(größer möglich)

Porenabstand und Anordnung der Poren anpassbar durch Anfertigung einer Photomaske zur Vorstrukturierung 

Standardabweichung < 5%

Durchflussmembranen mit symmetrischen Poren

Poröses Silizium mit einseitig geschlossenen Poren

Porentiefen von wenigen µm bis 500 µm

Porosität einstellbar ab 20%

thermisch stabil bis 1200ºC
(abhängig von der Umgebung)

funktionalisierbare Oberfläche

Porendurchmesser

anpassbar ab 1 µm bis 17 µm (größer möglich)

Porenabstand und Anordnung der Poren

anpassbar durch Anfertigung einer Photomaske zur Vorstrukturierung 

Standardabweichung

< 5%

Durchflussmembranen

mit symmetrischen Poren

Poröses Silizium

mit einseitig geschlossenen Poren

Porentiefen

wenige µm bis 500 µm

Porosität

einstellbar ab 20%

thermisch stabil

bis 1200ºC (abhängig von der Umgebung)

funktionalisierbare Oberfläche
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Factsheet
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