The MIAM® product portfolio for high-pressure synthesis plants covers pressure ratings up to 3,600 bar (50.000psi) and provides advanced solutions for shut-off, backflow prevention, safe pressure relief (safety valves), as well as precise pressure and flow control.
Die MakroPor Membranen besitzen Poren mit einem einheitlichen Porendurchmesser (Abweichung unter 5%), der über die gesamte Porenlänge hindurch konstant bleibt. Die Poren sind aufgrund der Vorstrukturierung über die gesamte Fläche des Wafers gleichmäßig exakt hexagonal oder quadratisch angeordnet. Durch eine zusätzliche anisotrope Ätzung können die runden Poren auch zu viereckigen aufgeweitet werden.
| Porenabstand | Porendurchmesser | Porenlänge | Anordnung der Poren |
|---|---|---|---|
| 1,5 µm | 1 µm | 50, 200 µm | Trigonal |
| 4,2 µm | 2,5 µm | 50, 200 µm | Trigonal |
| 12 µm | 5 µm | 350, 500 µm | Quadratisch |
| 20 µm | 8 µm | 500 µm | Quadratisch |
Porendurchmesser anpassbar ab 1 µm bis 17 µm(größer möglich)
Porenabstand und Anordnung der Poren anpassbar durch Anfertigung einer Photomaske zur Vorstrukturierung
Standardabweichung < 5%
Durchflussmembranen mit symmetrischen Poren
Poröses Silizium mit einseitig geschlossenen Poren
Porentiefen von wenigen µm bis 500 µm
Porosität einstellbar ab 20%
thermisch stabil bis 1200ºC
(abhängig von der Umgebung)
funktionalisierbare Oberfläche
anpassbar ab 1 µm bis 17 µm (größer möglich)
anpassbar durch Anfertigung einer Photomaske zur Vorstrukturierung
< 5%
mit symmetrischen Poren
mit einseitig geschlossenen Poren
wenige µm bis 500 µm
einstellbar ab 20%
bis 1200ºC (abhängig von der Umgebung)